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匯總電子設(shè)備的構(gòu)成及生產(chǎn)制造生產(chǎn)流程,能夠 把電子器件生產(chǎn)制造技術(shù)梳理為以下技術(shù):
(1) ic設(shè)計(jì)與生產(chǎn)制造技術(shù)。它包含半導(dǎo)體材料集成電源電路的設(shè)計(jì)方案技術(shù)和晶圓制造技術(shù)。
(2) 細(xì)微加工技術(shù)。微結(jié)構(gòu)加工、微加工及其電子器件生產(chǎn)制造中應(yīng)用的一些高精密加工技術(shù)通稱 為細(xì)微加工。細(xì)微加工技術(shù)中的微結(jié)構(gòu)加工大部分歸屬于平面圖集成的方式。平面圖集成的基本上思 想是將微納米技術(shù)構(gòu)造根據(jù)逐級(jí)累加的方式構(gòu)建在平面圖襯底原材料上。此外,應(yīng)用光量子束、電子器件 束和電子束開展激光切割、電焊焊接、三維打印、離子注入、磁控濺射等加工方式也歸屬于細(xì)微加工。
(3) 互聯(lián)、包裹技術(shù)。它就是指集成ic與基鋼板上引出來(lái)路線中間的互聯(lián),如倒裝句鍵合、導(dǎo)線 鍵合、硅埋孔(TSV)等技術(shù),及其集成ic與基鋼板互聯(lián)后的包裹技術(shù)等,這種技術(shù)便是一般所 說的集成ic封裝技術(shù)。
(4) 無(wú)源元件生產(chǎn)制造技術(shù)。它包含電力電容器、電阻、電感、變電器、過濾器、無(wú)線天線等無(wú) 源元器件的生產(chǎn)制造技術(shù)。
(5) 光電子封裝技術(shù)。光電子封裝是光電器件、電子元件及作用應(yīng)用材質(zhì)的系統(tǒng)軟件 集成。在光纖通信系統(tǒng)軟件中,光電子封裝可分成集成icIC級(jí)的封裝、元器件封裝、控制模塊封裝、系統(tǒng)軟件 板封裝、分系統(tǒng)拼裝和系統(tǒng)軟件拼裝。
(6) 微機(jī)電系統(tǒng)生產(chǎn)制造技術(shù)。運(yùn)用細(xì)微加工技術(shù)在每塊硅集成ic上集成感應(yīng)器、電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)、 解決控制回路的小型系統(tǒng)軟件。
(7) 封裝基鋼板技術(shù)。
(8) 電子器件拼裝技術(shù)。
(9) 電子類材料技術(shù)。